[20p-P13-1~14] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[20p-P13-1] イオンビームスパッタ蒸着法を用いた高品位Er₂O₃薄膜の作製

〇藤田 将弥^1,2、朝岡 秀人²、山口 憲司² (1.茨城大学、2.原子力機構)

キーワード：スパッタエッチング、イオン照射、薄膜