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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／集積化技術

[20p-S422-1~18] 13.5 デバイス／集積化技術

2016年3月20日(日) 13:45 〜 18:30 S422 (南4号館)

池田圭司(東芝)、井田次郎(金沢工大)

14:30 〜 14:45

[20p-S422-4] デバイスシミュレーションによる積層型CMOSインバータの構造検討

〇服部淳一¹、福田浩一¹、太田裕之¹、入沢寿史¹、前田辰郎¹ (1.産総研)

キーワード：三次元集積回路、デバイスシミュレーション、TCAD

　　　