2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／集積化技術

[20p-S422-1~18] 13.5 デバイス／集積化技術

2016年3月20日(日) 13:45 〜 18:30 S422 (南4号館)

池田 圭司(東芝)、井田 次郎(金沢工大)

14:15 〜 14:30

[20p-S422-3] 3次元ICに向けた多結晶InSb MOSFETの電気特性評価

〇(M1)高橋 正紘1,2、藤川 紗千恵1、藤代 博記1、入沢 寿史2、富永 淳二2、前田 辰郎1,2 (1.東理大院、2.産総研)

キーワード：半導体