[20p-W621-1~7] 真空・減圧プロセスにおける気体の流れの解析

[20p-W621-1] 真空・減圧プロセスにおける気体の流れの解析 イントロダクトリートーク

〇吉田 肇¹、板倉 明子² (1.産総研、2.物材機構)

キーワード：真空、気体の流れ

真空・減圧プロセスチャンバ内において、気体がどのように流れ、どのような圧力分布があるかを知ることは、プロセスチャンバ内での現象を理解する上で重要である。本シンポジウムでは、大学および企業の方に、流れの特性に応じた解析方法と数値シミュレーション方法について、さらに、真空容器内の圧力分布を実測できる新しい圧力センサについてご講演頂く。