2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

中村 健

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座長等

2016年3月20日(日) 14:00 〜 17:30 W621 (西6号館)

  • シンポジウム(口頭講演)
  • | シンポジウム
  • | 真空・減圧プロセスにおける気体の流れの解析

[20p-W621-1~7] 真空・減圧プロセスにおける気体の流れの解析

中村 健(産総研)、守山 佳彦(東芝)