[21a-W641-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[21a-W641-5] 積層圧電薄膜の作製およびその実効的圧電特性評価

〇山本 稜祐¹、黒川 文弥¹、辻浦 裕一¹、肥田 博隆¹、神野 伊策¹、牧本 なつみ²、小林 健² (1.神大工、2.産総研)

キーワード：薄膜、PZT、積層

圧電薄膜を用いた積層構造は，交互に配置された内部電極を作製する実用的な成膜，微細加工プロセスが確立されておらず，単層薄膜のみの利用にとどまっていた．これまで我々の研究グループでは，1回のスパッタ成膜により内部電極を有した積層薄膜を作製する手法を確立し，実効的な静電容量の向上について報告した．本研究では，圧電MEMS応用を目的としてPZT積層薄膜を作製し，その実効的な圧電特性について評価した．