10:00 〜 10:15 [21a-W641-5] 積層圧電薄膜の作製およびその実効的圧電特性評価 〇山本 稜祐1、黒川 文弥1、辻浦 裕一1、肥田 博隆1、神野 伊策1、牧本 なつみ2、小林 健2 (1.神大工、2.産総研)