[21p-H121-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

[21p-H121-10] AlGaN多重量子井戸成長におけるAlNバッファ層の効果

〇藤田 直宏¹、三宅 秀人^1,2、平松 和政¹ (1.三重大・院工、2.三重大・地域イノベ)

キーワード：有機金属気相成長法、窒化アルミニウムガリウム