[21p-P17-1~26] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [21p-P17-14] プラズモニック吸収体を用いた波長選択型非冷却赤外線センサによる二酸化炭素検知

〇久保山 貴文¹、高川 陽輔¹、小川 新平²、藤澤 大介²、安井 慎一²、木股 雅章¹ (1.立命館大学、2.三菱電機株式会社)

キーワード：赤外線センサ、プラズモン、二酸化炭素

我々は、プラズモニクス・メタマテリアルを応用して、波長選択性を有する非冷却赤外線センサを実現した。 今回、この波長選択性を有する非冷却赤外線センサを用いて、ガス検知、特に二酸化炭素検知への応用を検証した。