[21p-P17-1~26] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[21p-P17-15] 波長計測のためのサブ波長ホールアレイを有する光ナノメカニカル振動子の作製

後藤 雅貴¹、前田 悦男¹、〇米谷 玲皇¹ (1.東大院工)

キーワード：波長、ナノメカニカル振動子、NEMS

レーザー光源波長の安定化や分光装置等への応用を狙った波長計測素子の創出に向け、SiO₂/Ti/Au/Ti/SiO₂ 積層構造体からなるサブ波長ホールアレイ構造を有する光ナノメカニカル振動子を作製し、その波長検出特性を評価した。結果として、1547-1563 nm の波長範囲において、9.13 pm の波長感度を有することがわかった。