[21p-P2-1~7] 3.13 半導体光デバイス

[21p-P2-4] イオン注入と熱処理による多重積層量子ドット組成混晶の集積素子への応用の検討

〇武井 勇樹¹、松井 信衞¹、松本 敦²、赤羽 浩一²、松島 裕一³、石川 浩¹、宇髙 勝之¹ (1.早大理工、2.情報通信研究機構、3.早大GCS機構)

キーワード：量子ドット、組成混晶