[21p-P3-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

[21p-P3-12] 墨スパッタ膜の構造とガス吸着特性

〇須田 順子¹、古田 憲吾¹、杉本 岩雄¹、高橋 和彦² (1.東京工科大学 CS 学部、2.同志社大学理工)

キーワード：炭素質薄膜