[21p-P3-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

[21p-P3-2] 水素終端ダイヤモンド表面伝導層上の金オーミック電極の電気的特性

〇河野 省三¹、稲葉 優文²、平岩 篤¹、川原田 洋^1,2 (1.早大ナノ・ライフ、2.早大理工)

キーワード：ダイヤモンド、金電極、電気的特性

水素終端ダイヤモンド表面伝導層はダイヤモンドFETとして活用されている。これにおけるオーミック電極は金が用いられることが多い。このオーミック電極部分の要素の重要な物理量は接触層(Contact Layer)に置ける接触抵抗率(Rc)である。もう１つの重要な物理量は接触層直下の表面伝導層のシート抵抗値(Rsk)である。しかし、これらの知見は統一されていない。IT技術の進歩により、有限要素法によるこのような系のシミュレーションは比較的容易に行える。これにより、オーミック電極部分の現象をより細かく理解することが出来る。本研究では、その結果について報告する。