[21p-P3-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

[21p-P3-3] 分散化した高濃度ホウ素ドープ縮退CVDダイヤモンド多層膜構造のマクロスコピックな半導体特性

〇田渕 智大¹、毎田 修¹、伊藤 利道¹ (1.阪大工)

キーワード：ダイヤモンド