[21p-W641-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[21p-W641-7] チタン酸ジルコン酸バリウムナノキューブの合成とその誘電特性

〇三村 憲一¹、馬 強¹、加藤 一実¹ (1.産総研)

キーワード：誘電体、チタン酸ジルコン酸バリウム、ナノキューブ

チタン酸バリウムナノキューブ三次元規則配列構造体の高い誘電特性を明らかにしてきた。これらの材料のデバイス応用に対しては、広範囲の温度領域にわたり高い誘電特性を維持する必要がある。一方で、TiサイトへのZr固溶は、Zrの置換量20 mol%において誘電率の温度依存性が最も平滑になり、室温における誘電率が増大する効果が知られている。本研究では誘電体ナノキューブの誘電特性の更なる向上を目指し、チタン酸ジルコン酸バリウムナノキューブ固溶体合成法の確立および集積体の作製、それらの構造解析および特性評価を行った。