[22a-P4-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[22a-P4-11] Nd_1-xSr_xFeO_3-d薄膜の結晶・電子構造と電気特性

並木 航¹、鈴木 直哉¹、中野 拓也¹、土屋 敬志¹、小林 正起²、組頭 広志²、〇樋口 透¹ (1.東理大理、2.高エネ研)

キーワード：Nd1-xSrxFeO3 薄膜、金属－絶縁体転移

Nd_1-xSr_xFeO₃ (x = 0~1.0)セラミックスを用いたRFマグネトロンスパッタ法により薄膜を作製し,結晶構造・伝導度評価に加え、軟X線分光による電子構造の評価を行った。Sr置換量や膜厚により、格子定数や電子-イオン伝導性は大きく変化する。La_1-xSr_xFeO₃ 薄膜の特性と比較することにより、電子構造や電気特性の議論をする。