[22a-S222-1~8] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[22a-S222-1] 非晶質酸化物半導体ITZO薄膜のNBITS不安定性評価

〇田中 聡¹、清水 耕作¹ (1.日大生産工)

キーワード：CPM、ITZO