[22a-W611-1~14] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [22a-W611-13] 誘電体バリア放電を用いた大気圧プラズマ窒化

〇津留 卓斗¹、喜多村 圭一¹、市來 龍大¹、赤峰 修一¹、金澤 誠司¹ (1.大分大工)

キーワード：窒化処理、誘電体バリア放電

我々は大気圧プラズマによる鉄鋼の窒化処理の開発をおこなってきた。今回は大面積処理を目指し，電極形状の自由度が高い誘電体バリア放電（DBD)による窒化処理の原理実証をおこなった。先行研究としてアンモニアガスを用いたDBD窒化の報告例はあるが，我々は低環境負荷のN₂/H₂/Arガスを用いたDBD窒化が可能であることを実証した。