[22a-W611-1~14] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[22a-W611-14] 混合粉体ターゲットを用いたAZOのスパッタリング成膜

〇大島 多美子¹、川崎 仁晴¹、柳生 義人¹、猪原 武士¹、須田 義昭¹ (1.佐世保高専)

キーワード：スパッタリング、粉体ターゲット