[22a-W611-1~14] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[22a-W611-3] VHF-DC重畳マグネトロンスパッタによる平坦性向上機構の検討

〇巣山 拓¹、福井 崇史¹、瀬高 健太¹、笹井 健典¹、豊田 浩孝^1,2 (1.名大工、2.名大プラズマナノ工学研究センター)

キーワード：スパッタ