大野裕

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発表者・著者、共著者

2017年9月5日(火) 13:30 〜 17:45 A204 (204)

シンポジウム(口頭講演)
| シンポジウム
| シリコン結晶における不純物制御の科学～ゲッタリングが描くウェーハの未来像～

[5p-A204-1~9] シリコン結晶における不純物制御の科学～ゲッタリングが描くウェーハの未来像～

16:15 〜 16:45

[5p-A204-7] シリコン結晶における不純物の粒界偏析－微視的描像と機能－

〇大野裕¹ (1.東北大金研)