Shinichi Matsubara

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発表者・著者、共著者

2017年9月7日(木) 13:45 〜 18:00 C13 (事務室2-2)

シンポジウム(口頭講演)
| シンポジウム
| GFIS（電界電離ガスイオン源）・先端イオン源顕微鏡技術とその材料・デバイス研究開発への応用

[7p-C13-1~9] GFIS（電界電離ガスイオン源）・先端イオン源顕微鏡技術とその材料・デバイス研究開発への応用

16:30 〜 17:00

▲ [7p-C13-7] Development of scanning ion microscope with H₃⁺ gas field ionization ion source

〇Shinichi Matsubara¹、Hiroyasu Shichi¹、Tomihiro Hashizume¹ (1.Hitachi, Ltd., Research & Development Group)