16:00 〜 16:15 [7p-A412-10] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボンの成膜 〇石川 敦士1、伊賀 一憲1、太田 貴之1、小田 昭紀2、上坂 裕之3 (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)