15:00 〜 15:15 [7p-A402-7] 対向タ-ゲット型反応性HPPSによるTiCN膜の作製 三島 俊彦1、吉田 涼1、〇中尾 節男2、東 欣吾3、木村 高志1 (1.名工大、2.産総研、3.兵庫県立大)