13:45 〜 14:00 [7p-A301-3] AlN・GaN・LiNbO3の表面活性化ウエハ接合技術の開発 〇(M1)小野寺 卓也1、上向井 正裕1、髙橋 一矢2、岩谷 素顕2、赤﨑 勇2、林 侑介3、三宅 秀人3、片山 竜二1 (1.阪大院工、2.名城大理工、3.三重大イノベ)