09:45 〜 10:00 [6a-A503-4] 分子クラスターイオン注入エピウェーハの製品特性 (3)-ダブルエピタキシャルウェーハのゲッタリング挙動解析- 〇奥田 秀彦1、柾田 亜由美1、重松 理史1、廣瀬 諒1、門野 武1、奥山 亮輔1、古賀 祥泰1、栗田 一成1 (1.SUMCO)