14:00 〜 14:15 △ [7p-A204-4] スパッタリング法による{100}配向Y2O3-HfO2強誘電体エピタキシャル薄膜の作製とその評価 〇(M2)鈴木 大生1、三村 和仙1、清水 荘雄2、内田 寛3、舟窪 浩1,2 (1.東工大物院、2.東工大元素、3.上智大理工)