09:15 〜 09:30 [8a-C21-1] Si結晶中にドープされたAsの異なる原子配列構造と深さ分布 〇(M1)小川 達博1、名取 鼓太郎1、星井 拓也1、仲武 昌史2、渡辺 義夫2、角嶋 邦之1、若林 整1、筒井 一生1 (1.東工大、2.あいちシンクロトロン光センター)