13:45 〜 14:00 [7p-S22-2] p型GaNにおけるSiNキャップアニールのコンタクト特性への影響 〇清水 孝1、星井 拓也1、角嶋 邦之1、若林 整1、岩井 洋1、筒井 一生1 (1.東工大)