17:30 〜 17:45 △ [5p-S42-15] ナノギャップ電極のアレイ化に向けたスピンオングラスを用いたUVナノインプリント-多層リフトオフプロセスの評価 〇橋口 恭平1,2、鈴木 健太2、廣島 洋2、菅 洋志1 (1.千葉工大、2.産総研)