11:45 〜 12:00 [6a-C13-11] SiD4ガスを用いて作製したSiN波長フィルタ特性 〇相原 卓磨1、開 達郎1、西 英隆1、土澤 泰1、松尾 慎治1 (1.NTT先端集積デバイス研)