11:30 〜 11:45 [7a-A402-10] 高温での窒化ガリウム低損傷塩素エッチング 〇石川 健治1、劉 沢成1、今村 真人1、堤 隆嘉1、近藤 博基1、小田 修1、関根 誠1、堀 勝1 (1.名古屋大学)