11:15 〜 11:30 [7a-A402-9] フルオロカーボンプラズマによりエッチング処理したSi基板表面における微結晶形成プロセス 〇(M2)黒田 源斗1、高橋 和生1、西尾 弘司1 (1.京都工繊大)