15:45 〜 16:00 [6p-A503-8] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(Ⅺ)電子線照射による1x1013cm-3までの赤外参照試料とブロックゲージの作製 〇井上 直久1,2、河村 裕一2 (1.東京農工大、2.大阪府立大学)
16:15 〜 16:30 [6p-A503-10] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(XIII)参照試料とブロックゲージとスペクトルと測定プロセスの共有による高感度高精度測定ネットワーク化と実用化 〇井上 直久1,2、河村 裕一2 (1.東京農工大、2.大阪府立大)