野口隆

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座長等

2017年9月7日(木) 13:30 〜 18:30 C18 (C18)

シンポジウム(口頭講演)
| シンポジウム
| ＩＶ族系半導体の製膜と低温結晶化（固相結晶化を中心に）

[7p-C18-1~11] ＩＶ族系半導体の製膜と低温結晶化（固相結晶化を中心に）

野口隆(琉球大)、松尾直人(兵庫県立大)、東清一郎(広島大)

2017年9月7日(木) 09:00 〜 12:30 C21 (C21)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[7a-C21-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

野口隆(琉球大)、佐道泰造(九大)