[5p-A301-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[5p-A301-19] 透明コンタクト層とレンズを用いたAlGaN深紫外LEDのWPE9.6％動作

〇平山 秀樹¹、鹿嶋 行雄^1,2、松浦 恵里子^1,2、高木 秀樹³、前田 哲利¹、定 昌史¹、岩井 武⁴、森田 敏郎⁴、小久保 光典⁵、田代 貴晴⁵、上村 隆一郎⁶、長田 大和⁶ (1.理研、2.丸文、3.産総研、4.東京応化、5.東芝機械、6.アルバック)

キーワード：深紫外LED、AlGaN、電力変換効率

AlGaN深紫外LEDは、殺菌、浄水、空気浄化、皮膚治療、樹脂加工、印刷、コーテイングなど幅広い応用分野への普及が期待されている。今回我々は、AlGaN深紫外LEDに透明コンタクト層と高反射電極を導入し、さらにフリップチップ（FC）にレンズを張り付けることにより、高い電力変換効率（WPE=9.6%）を実現したので報告する。