[5p-PB7-1~8] 1.6 超音波

△ [5p-PB7-3] LiNbO₃薄板/水晶基板上の縦型リーキー弾性表面波の伝搬特性

〇(M1)林 純貴¹、山谷 浩介¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、須崎 遥²、米内 敏文³、岸田 和人³、水野 潤² (1.山梨大学、2.早稲田大学、3.日本製鋼所)

キーワード：弾性表面波、共振子、水晶

本報告では，高速・高結合・高安定なSAW基板構造の実現に向け，LiNbO₃(LN)薄板と高音速な水晶基板を接合させた試料を作製し，縦型リーキーSAW(LLSAW)の伝搬特性を評価した．電気機械結合係数K²は17.1％が得られ，LN単体より1.6倍増加した．さらにアドミタンス比が14 dBから31 dBに，共振Q値が6.3から50にそれぞれ増加した．また，挿入損失はLN単体より約5 dB小さい値が得られたが，伝搬減衰は同様の結果となった．