[6p-A301-8~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [6p-A301-8] ナノビームX線回折法による周期溝加工基板上AlN厚膜の結晶深さ方向構造解析

〇志田 和己¹、竹内 正太郎¹、三宅 秀人^2,3、平松 和政³、隅谷 和嗣⁴、今井 康彦⁴、木村 滋⁴、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.三重大地域イノベ、3.三重大院工、4.JASRI)

キーワード：ナノビームX線回折