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△ [6p-C14-4] 電圧波形制御によるMEMS VCSELのリンギング抑制
キーワード：波長可変面発光レーザ、高速スイッチング、リンギング抑制
近年データ通信量の急増により，これまで長距離通信でのみ用いられてきた波長分割多重化技術を用いて，短距離通信系でも通信容量増大が検討されている．その光源としては小型で低消費電力，連続波長掃引可能といった特徴を持つマイクロマシンを集積した波長可変面発光レーザ(MEMS VCSEL)が期待されている．今回はマイクロマシンを駆動する電圧の波形制御を行い，リンギングを抑制することで2.3µsの高速スイッチングを達成した．