[6p-PA8-1~31] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[6p-PA8-24] 光容量分光法によるGaN中のプラズマ照射誘起欠陥準位評価

山崎 寛斗¹、折茂 力都¹、〇中村 成志¹、奥村 次徳¹ (1.首都大理工)

キーワード：光容量分光法、プラズマ照射誘起欠陥