[7a-A402-1~10] 8.4 プラズマエッチング

△ [7a-A402-2] Ni表面に対するヘキサフルオロアセチルアセトンによる表面反応の解明

〇伊藤 智子¹、唐橋 一浩¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工)

キーワード：磁性材料、アトミックレイヤーエッチング