[7a-C17-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[7a-C17-9] ZnO系透明導電膜の特性とPLスペクトルの対応

〇赤沢 方省¹ (1.NTT DIC)

キーワード：ZnO、フォトルミネッセンス、内因性ドナー

ZnO透明導電膜の電気伝導性は内因性欠陥に由来するが、どういった欠陥がドナーとして寄与しているかは確定されていない。一方、フォトルミネッセンスに現れる深いレベルからの発光は欠陥準位を介する遷移である。本研究ではプロセス条件や抵抗率を規定した膜のフォトルミネッセンスと電気伝導性を対応させ、ドナーの正体を特定することを目指した試みを報告する。