[7p-C11-1~21] 17.3 層状物質

[7p-C11-5] スパッタ堆積MoS₂膜の下地材料依存性

〇大橋 匠¹、宗田 伊理也¹、石原 聖也^2,3、日比野 祐介²、角嶋 邦之¹、筒井 一生¹、小椋 厚志²、若林 整¹ (1.東工大、2.明治大、3.学振特別研究員)

キーワード：二硫化モリブデン、スパッタリング法