[7p-C17-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[7p-C17-14] 低暗電流酸化ガリウムMIS光検出素子

〇大島 孝仁¹、橋川 誠¹、富澤 三世¹、佐々木 公平^2,3、倉又 朗人^2,3、大石 敏之¹、嘉数 誠¹ (1.佐賀大学、2.タムラ製作所、3.ノベルクリスタルテクノロジー)

キーワード：酸化ガリウム、光検出素子