[7p-C17-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[7p-C17-15] ハライド気相成長法によるIn₂O₃成長の温度依存性

〇中畑 秀利¹、須賀 隆之¹、小西 敬太¹、富樫 理恵^1,2、村上 尚^1,2、Plamen Paskov³、Bo Monemar^2,3、熊谷 義直^1,2 (1.東京農工大、2.東京農工大GIR、3.リンチョーピン大)

キーワード：ハライド気相成長法、In2O3、安定相