[8a-PA1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[8a-PA1-11] 軟X線照射によるフッ化DLC膜の改質過程

〇神田 一浩¹、高松 大樹¹、三浦 永理²、赤坂 大樹³、雑賀 章浩⁴、玉田 耕治⁴ (1.兵庫県立大高度研、2.兵庫県立大工、3.東工大工、4.東京高専)

キーワード：DLC薄膜、軟X線、照射効果

フッ化DLC膜の軟X線照射効果についてシンクロトロン放射光を用いて調べた。軟X線照射したフッ化DLC膜をスパッタリングを行いながらXPSで元素の深さ方向分布を測定したところ、ほとんど基板から表面までフッ素が一定に分布していることが明らかになった。このように軟X線照射により、フッ化DLC膜の表面からだけでなく基板近傍からもフッ素が脱離していることが明らかになった。