09:30 〜 11:30 [8a-PA1-11] 軟X線照射によるフッ化DLC膜の改質過程 〇神田 一浩1、高松 大樹1、三浦 永理2、赤坂 大樹3、雑賀 章浩4、玉田 耕治4 (1.兵庫県立大高度研、2.兵庫県立大工、3.東工大工、4.東京高専)