[8a-PB3-1~8] 8.2 プラズマ診断・計測

[8a-PB3-2] 炭素化水素プラズマによる堆積反応の赤外吸収分光計測

〇篠原 正典¹、猪原 武士¹、柳生 義人¹、大島 多美子¹、川崎 仁晴¹ (1.佐世保高専)

キーワード：多重内部反射赤外吸収分光法、炭化水素分子、堆積過程

メタン(CH₄)，アセチレン(C₂H₂)，エチレン(C₂H₄)，ベンゼン(C₆H₆)などの炭化水素分子のプラズマ中での反応について，多重内部反射赤外吸分光法を用いて，調べてきた。今回，C₇H₁₆で示される炭化水素分子をプラズマ中で分解しそれに続く堆積反応についても，MIR-IRASを用いてい調べた。これまでの結果と比較し，炭化水素分子のプラズマの反応過程について議論する。