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[8a-PB3-2] 炭素化水素プラズマによる堆積反応の赤外吸収分光計測
キーワード:多重内部反射赤外吸収分光法、炭化水素分子、堆積過程
メタン(CH4),アセチレン(C2H2),エチレン(C2H4),ベンゼン(C6H6)などの炭化水素分子のプラズマ中での反応について,多重内部反射赤外吸分光法を用いて,調べてきた。今回,C7H16で示される炭化水素分子をプラズマ中で分解しそれに続く堆積反応についても,MIR-IRASを用いてい調べた。これまでの結果と比較し,炭化水素分子のプラズマの反応過程について議論する。