09:30 〜 11:30 [16a-P5-2] ミラー電子顕微鏡によるCMP加工されたSiCウェハーの潜傷検出とSEM, AFM,FIB-STEM連携による構造評価 〇一色 俊之1、佐藤 高広2、長谷川 正樹2、宮木 充史2、伊与木 誠人2、山岡 武博2、小貫 勝則2、小林 健二2 (1.京都工繊大、2.日立ハイテク)